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韓媒:三星LG計劃為柔性OLED面板引入ALD薄膜封裝工藝

兩家公司都已經(jīng)完成了ALD技術(shù)的研發(fā),并且進入了商業(yè)化的開發(fā)階段。對OLED來說,它的有機材料是很脆弱的,尤其在抵御水和氧方面。
   三星和LG兩家公司正考慮為自家的柔性OLED薄膜封裝工藝引入“原子層沉積”(AtomicLayerDeposition)技術(shù),并且與各自的合作伙伴進行了內(nèi)部設備驗證。ALD技術(shù)可以更好地保護有機材料不受氧和水的影響,同時提升OLED面板的整體壽命和性能。本月22日的行業(yè)消息稱,三星和LG已經(jīng)做好了準備,合作方有JusingEngineering、WONIKIPS、APSystem、以及TES。

三星LG計劃為柔性OLED面板引入ALD薄膜封裝工藝

  三星在SID2016上展出的5.7英寸QHD(25601440)柔性AMOLE面板,厚度僅0.3mm。

  LG Display已經(jīng)完成了ALD方面的研究,并且開始為柔性OLED面板制程引入ALD技術(shù),而三星方面也在快速引入這項技術(shù)。

  兩家公司都已經(jīng)完成了ALD技術(shù)的研發(fā),并且進入了商業(yè)化的開發(fā)階段。對OLED來說,它的有機材料是很脆弱的,尤其在抵御水和氧方面。

  為了保護OLED,需要在上面覆蓋多層薄膜。雖然面板制造期間用到數(shù)量有不同(3-5次),但其均采用了Vitex方法(覆蓋有機或無機薄膜)。

  通常情況下,制造商可以使用PECVD(等離子增強化學汽相沉積)、濺射(Sputtering)、以及ALD等無機薄膜封裝技術(shù),而Kateeva的噴墨印刷技術(shù)則采用了有機薄膜沉積。

  Samsung Display和LGDisplay都選擇了PECVD這項無機薄膜封裝技術(shù)。
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