四、阻蝕油墨烘干

阻蝕油墨烘干工序主要是把阻蝕油墨里的溶劑去除。

微壓印蝕刻采用的是干蝕刻方式，所以在采用什么烘干設(shè)備與參數(shù)上，也比化學(xué)蝕刻要寬松，少量封閉的針孔、氣泡等，一般不會(huì)形成侵蝕現(xiàn)象?！?/p>

等離子蝕刻用的阻蝕油墨里的溶劑，應(yīng)該是不參與油墨固化反應(yīng)過程的，也就是說，油墨涂覆后烘干時(shí)，溶劑揮發(fā)完后，只是提高油墨的塑性和分子間的堆積強(qiáng)度，而不是化學(xué)鍵作用力粘結(jié)強(qiáng)度。阻蝕油墨烘干后，在基材表面形成足夠的附著力和塑性，這樣才利于后面壓印線路加工?！?/p>

為了快速的把油墨中的溶劑揮發(fā)完全，一般會(huì)采用強(qiáng)對(duì)流強(qiáng)制熱交換烘烤設(shè)備，在快速交換熱量的同時(shí)，也把大量的溶劑揮發(fā)物抽離加工工件表面，得到較高的生產(chǎn)效率?！?/p>

當(dāng)然，這個(gè)熱交換效率，要與基材的熱交換速度相宜，過快的熱交換速度，也容易造成基材各部分受熱不均勻，在熱脹冷縮的作用下，讓加工工件產(chǎn)生變形現(xiàn)象，如果嚴(yán)重的話，超出了工件的耐受程度，就容易形成不可回復(fù)變形次品。

所以，一般這種烘干設(shè)備，都會(huì)采取先把基材加熱，然后讓基材把熱量傳遞到油墨的方式，來快速清除油墨里的溶劑，增加油墨層的塑性，方便物理成型。

五、圖案轉(zhuǎn)移壓印

由于成本的增長(zhǎng)，人們對(duì)納米壓印蝕刻這一低成本圖形轉(zhuǎn)移技術(shù)的關(guān)注越來越多。通過避免使用昂貴的光源和投影光學(xué)系統(tǒng)，納米壓印蝕刻比傳統(tǒng)蝕刻方法大大降低了成本。利用等離子壓印蝕刻工藝加工金屬網(wǎng)格，圖案轉(zhuǎn)移壓印是最關(guān)鍵的工序，它決定了最終的蝕刻良率。

壓印并不神秘，它其實(shí)是一門古老的圖形轉(zhuǎn)移技術(shù)，中國(guó)的活字印刷術(shù)就是最初的壓印技術(shù)的原型。打一個(gè)通俗的比喻，壓印就像是把一個(gè)刻有凹凸圖案的章蓋在橡皮泥上，然后就在橡皮泥上留下了具有和章的圖形相反的圖案。只不過在納米壓印中，這個(gè)具有凹凸圖案的章的圖案特征尺寸在幾個(gè)納米到幾百個(gè)納米，這個(gè)章在納米壓印中被稱為模板；而這個(gè)橡皮泥在壓印過程中用特殊的阻蝕油墨。

圖案轉(zhuǎn)移壓印首先是進(jìn)行模壓，在模具和塑性阻蝕油墨間加上一定的壓力，讓阻蝕油墨填充模具中的空腔進(jìn)行物理成型。壓力的大小，以完全填充腔體為準(zhǔn)。

模壓過程結(jié)束后，再對(duì)阻蝕油墨進(jìn)行加熱使圖案固化，讓阻蝕油墨提供足夠大的機(jī)械強(qiáng)度。

阻蝕油墨固化，是通過加熱，讓油墨里的各個(gè)組份產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)，生成具有一定硬度的固態(tài)物質(zhì)。阻蝕油墨固化后，一般會(huì)失去塑性，硬度跟韌性會(huì)大幅增強(qiáng)，在等離子蝕刻時(shí)給需要留下的金屬導(dǎo)電層提供保護(hù)作用。

六、圖案蝕刻

模壓結(jié)束后，原阻蝕油墨被壓得凹下去的那些部分和填充模具的部分就有一個(gè)高度差，通過各向異性反應(yīng)等離子刻蝕，就可以得到最終需要的METAL MASH金屬網(wǎng)格圖案和線路。

等離子蝕刻的原理，是利用等離子的各向異性，阻蝕油墨厚度厚的地方蝕刻速度慢，阻蝕油墨厚度薄的地方蝕刻速度快的原理，把阻蝕油墨厚度薄的地方的阻蝕油墨和下面的導(dǎo)電層一起蝕刻掉，留下阻蝕油墨保護(hù)層厚度較厚部分。

七、阻蝕油墨去除

刻蝕圖案完成后，也可以調(diào)整等離子的頻率或功率，一次性去除剩余的阻蝕油墨保護(hù)層，留下導(dǎo)電圖案層，也可以選用可以化學(xué)反應(yīng)法去除的阻蝕油墨，在這道工序中采用化學(xué)方法去除阻蝕油墨層，并完成對(duì)導(dǎo)電膜基板的清洗。

METAL MASH金屬網(wǎng)格電容屏制作

METAL MASH金屬網(wǎng)格導(dǎo)電膜制作好后，其它的外形加工、電子附件貼裝、保護(hù)層制作、模組貼合等加工工序，跟傳統(tǒng)的電容觸摸屏加工工藝基本上一致，只有少部分工序，會(huì)因?yàn)閷?dǎo)電層材料特性不同，在工裝治具以及工藝參數(shù)上有所不同。

METAL MASH金屬網(wǎng)格圖案電容屏的意義和難點(diǎn)

METAL MASH金屬網(wǎng)格圖案電容屏的工藝優(yōu)勢(shì)，是金屬網(wǎng)格的導(dǎo)電率比較高，電阻可以做到跟傳統(tǒng)電容屏外圍連接電路一樣低，也就是說可以一次性把電容屏的sensor圖案和周邊線路一起制作出來，如果組成金屬網(wǎng)格導(dǎo)電層的材料本身性能穩(wěn)定的話，成品電容屏的品質(zhì)穩(wěn)定性也比較好。

目前困擾行業(yè)的主要問題，是出現(xiàn)在外掛式電容屏采用METAL MASH金屬網(wǎng)格工藝時(shí)，如果是采用柔性基材和金屬材料，由于線寬只有微米級(jí)或亞微米級(jí)，容易出現(xiàn)金屬層附著力不夠，造成加工搬運(yùn)或撓曲過程中脫落的問題；如果是采用納米漿料導(dǎo)電材料，則很難驗(yàn)證長(zhǎng)期導(dǎo)電過程中，納米結(jié)構(gòu)電性能穩(wěn)定性問題。

另外，金屬網(wǎng)格產(chǎn)品的金屬材料線路電阻可以做得比較低，但形成電容的表面積也很低，也就是說，低的電阻可以得到優(yōu)秀的驅(qū)動(dòng)IC驅(qū)動(dòng)能力，但是低的電容表面積所帶來的低的電容容積量，卻增加了驅(qū)動(dòng)IC的探測(cè)和計(jì)算難度，這些都會(huì)增加驅(qū)動(dòng)IC的成本。

也就是說，在METAL MASH金屬網(wǎng)格圖案電容屏產(chǎn)品沒有在市場(chǎng)上充分被驗(yàn)證并批量供應(yīng)之前，前期介入的廠商，有可能在導(dǎo)電層的材料與加工成本上可以節(jié)省掉一部分成本，但這部分省下來的成本，不一定能彌補(bǔ)驅(qū)動(dòng)IC所增加的成本。